Herstellung einer 77 GHz Rotman-Linse auf einem hochohmigen Silizium-Wafer im Lift-Off-Verfahren

In diesem Artikel aus dem International Journal of Antennas and Propagation wird die Herstellung einer hochohmigen siliziumbasierten Mikrostreifen-Rotman-Linse mit einem Lift-off-Verfahren vorgestellt. Die Linse verfügt über 3 Strahlöffnungen, 5 Array-Ports, 16 Dummy-Ports und einen Strahllenkwinkel von ±10 Grad. Die Linse wurde auf einem 200 µm dicken, hochohmigen Siliziumwafer hergestellt und hat eine Grundfläche von 19,7 mm × 15,6 mm. Die Linse wurde als integraler Bestandteil eines 77-GHz-Radars getestet, wobei eine abstimmbare X-Bandquelle zusammen mit einem 8-fachen Multiplikator als HF-Quelle verwendet wurde und das resultierende Millimeterwellensignal bei 77 GHz zentriert durch eine Linsen-Antennen-Kombination abgestrahlt wurde. Eine Hornantenne mit einem Downconverter-Oberwellenmischer wurde verwendet, um das abgestrahlte Signal zu empfangen und das empfangene Signal in einem Advantest R3271A Spektrumanalysator anzuzeigen. Das überlagerte Sende- und Empfangssignal im Spektrumanalysator zeigte den korrekten Radarbetrieb und bestätigte das Rotman-Objektivdesign.

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Zitat:

Ali Attaran und Sazzadur Chowdhury, "Herstellung einer 77 GHz Rotman Linse auf einer hochohmigen Siliziumscheibe im Lift-Off-Verfahren", International Journal of Antennas and Propagation, Band 2014, Artikel-ID 471935, 9 Seiten, 2014. doi:10.1155/2014/471935